飛恩自主研發(fā)國內(nèi)首款車規(guī)級MEMS壓力芯片面世！
2022年12月，飛恩微電子自主研發(fā)的MEMS壓力芯片---FN-A1601系列芯片正式面世。FN-A1601系列芯片是全自主研發(fā)的國內(nèi)首款車規(guī)級MEMS壓力芯片，適用于汽車、智能家居、醫(yī)療器械、工業(yè)控制等領(lǐng)域。
FN-A1601應(yīng)用領(lǐng)域
FN-A1601包含兩個型號系列，表壓類型和背面絕壓類型，均采用SOI硅片為襯底，車規(guī)級半導(dǎo)體工藝制造。采用先進(jìn)的MEMS正面密封腔體，背部感壓技術(shù)，具有耐腐蝕性，寬溫度范圍（-40℃~150℃），低漏電流（＜10nA），高可靠性的特點，適合應(yīng)用于汽車尾氣壓差測量，發(fā)動機(jī)進(jìn)氣壓力測量，制動氣壓測量及空調(diào)壓力測量等惡劣環(huán)境。
高清顯微鏡下的FN-A1601
芯片尺寸為：1.6mm × 1.6mm，覆蓋從15psi~500psi壓力量程，全溫區(qū)內(nèi)輸出非線性和遲滯性優(yōu)于0.1%FS；生命周期內(nèi)精度和穩(wěn)定性優(yōu)于0.3%FS，已通過AEC-Q103可靠性測試。
從研發(fā)投入到批量量產(chǎn)，飛恩FN-A1601系列壓力芯片開發(fā)周期不到兩年，領(lǐng)跑MEMS壓力傳感器“芯”速度。未來，飛恩將持續(xù)加大研發(fā)投入，進(jìn)一步開發(fā)低壓和微壓系列芯片，夯實國產(chǎn)MEMS傳感器基礎(chǔ)，為中國“芯”制造走向世界而不懈努力！
